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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
127.036 IP-ICT
Projekttitel
Modellprädiktive Regelung für den Wafer-Transport in Dünnfilmbeschichtungsanlagen unter Verwendung kombinatorischer Optimierung
Projekttitel Englisch
Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Christoph Strauss
OST - Ostschweizer Fachhochschule

Wissenschaftliche Leitung
OST - Ostschweizer Fachhochschule

Wirtschaftspartner
Evatec AG
www.uid.admin.ch/Detail.aspx?uid_id=CHE111705163