Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 127.036 IP-ICT

Key words (English)

ICT, Automation, Process engineering, Advanced manufacturing

Abstract (German)

Im Projekt wird eine Anlagensteuerung für Dünnfilm-Beschichtungsanlagen entwickelt. Es wird ein Algorithmus entwickelt, der mit Hilfe Modellprädiktiver Regelung Fertigungsschritte in eine optimale Reihenfolge bringt, um Anlagenstillstände zu vermeiden und den Durchsatz der Anlage zu maximieren.