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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
127.036 IP-ICT
Projekttitel
Modellprädiktive Regelung für den Wafer-Transport in Dünnfilmbeschichtungsanlagen unter Verwendung kombinatorischer Optimierung
Projekttitel Englisch
Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Schlüsselwörter
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Schlüsselwörter
(Englisch)
ICT, Automation, Process engineering, Advanced manufacturing
Abstract
(Deutsch)
Im Projekt wird eine Anlagensteuerung für Dünnfilm-Beschichtungsanlagen entwickelt. Es wird ein Algorithmus entwickelt, der mit Hilfe Modellprädiktiver Regelung Fertigungsschritte in eine optimale Reihenfolge bringt, um Anlagenstillstände zu vermeiden und den Durchsatz der Anlage zu maximieren.