High-temperature pressure sensor with metal oxynitride thin film system (HTMOS)

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 25716.2 PFNM-NM
• Titre du projet anglais: High-temperature pressure sensor with metal oxynitride thin film system (HTMOS)

Description succincte (Allemand)

Hochtemperaturstabiler Drucksensor mit Metalloxynitrid-Funktionsschicht (HTMOS)

Description succincte (Anglais)

High-temperature pressure sensor with metal oxynitride thin film system (HTMOS)

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Grossdiesel- und Gasmotoren können durch präzise Überwachung des Brennkammerdruckes sowohl den Kraftstoffverbrauch reduzieren als auch die neuen Emissionsvorschriften leichter einhalten. Um den extremen thermischen, mechanischen und chemischen Bedingungen ohne Drift des hierfür benötigten Sensors widerstehen zu können, sind neuartige hochtemperatur- und langzeitstabile Widerstandsschichten erforderlich. Hierfür werden im Projekt spezielle Metalloxynitrid-Schichten entwickelt, getestet und in Prototypdrucksensoren umgesetzt.

Résumé des résultats (Abstract) (Anglais)