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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
25716.2 PFNM-NM
Projekttitel
Hochtemperaturstabiler Drucksensor mit Metalloxynitrid-Funktionsschicht (HTMOS)
Projekttitel Englisch
High-temperature pressure sensor with metal oxynitride thin film system (HTMOS)
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.06.2017
Endedatum 01.01.2019
 
Gesamtkosten bewilligt 172'769.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt