High-temperature pressure sensor with metal oxynitride thin film system (HTMOS)

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 25716.2 PFNM-NM

Short description (German)

Hochtemperaturstabiler Drucksensor mit Metalloxynitrid-Funktionsschicht (HTMOS)

Short description (English)

High-temperature pressure sensor with metal oxynitride thin film system (HTMOS)

Abstract (German)

Grossdiesel- und Gasmotoren können durch präzise Überwachung des Brennkammerdruckes sowohl den Kraftstoffverbrauch reduzieren als auch die neuen Emissionsvorschriften leichter einhalten. Um den extremen thermischen, mechanischen und chemischen Bedingungen ohne Drift des hierfür benötigten Sensors widerstehen zu können, sind neuartige hochtemperatur- und langzeitstabile Widerstandsschichten erforderlich. Hierfür werden im Projekt spezielle Metalloxynitrid-Schichten entwickelt, getestet und in Prototypdrucksensoren umgesetzt.

Abstract (English)