Feasibility Study: Multi Wavelengths Interferometry for Fast Topography Measurement

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 17589.1 PFNM-NM

Short description (German)

Machbarkeitsstudie zu ¿Multi Wellenlängen Interferometrie für schnelle Topografiemessungen¿

Short description (English)

Feasibility Study: Multi Wavelengths Interferometry for Fast Topography Measurement

Abstract (German)

Interferometrie eignet sich als hochgenaues Messverfahren für Abstände und Topografie. Die Begrenzung ist der sehr kleine Eindeutigkeitsbereich. Dieser kann im Prinzip durch mehrere Wellenlängen erweitert werden. Für die Entwicklung zum Einsatz für industrielle Inspektionsaufgaben bestehen einige grundle-gende technische Risiken. Bevor konkrete Produktentwicklungen gestartet werden können, sollen diese Risiken in einer Machbarkeitsstudie analysiert und quantifiziert werden.

Abstract (English)