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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
17589.1 PFNM-NM
Projekttitel
Machbarkeitsstudie zu ¿Multi Wellenlängen Interferometrie für schnelle Topografiemessungen¿
Projekttitel Englisch
Feasibility Study: Multi Wavelengths Interferometry for Fast Topography Measurement
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.03.2015
Endedatum 01.01.2016
 
Gesamtkosten bewilligt 124'000.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
25.03.2021