Vibroacoustic machine health monitoring

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 16060.1 PFEN-ES

Short description (German)

Modellbasierte Zustandsüberwachung und Regelung für den hocheffizien-ten Waferschneidprozess

Short description (English)

Vibroacoustic machine health monitoring

Abstract (German)

Die Waferschneidtechnik ist ein zentraler Prozess der Herstellung innovativer Solartechnologie. Im Rahmen des Projektes wird eine innovative Prozessüberwachungs- und regelungstechnik entwickelt, welche die nachhaltige und ressourceneffiziente Waferproduktion ermöglicht. Die Schneidtechnologie für Wafer wird modelliert und simuliert, das thermische und dynamische Verhalten validiert und daraus eine modellbasierte Prozessüberwachung abgeleitet. Die Prozessüberwachung dient der Optimierung des Schneidprozesses und erlaubt eine massiv gesteigerte Ausnutzung des zu schneidenden Grundmaterials und eine maximierte Produktivität. Das validierte Simulationsmodell wird zum Auslegungstool für künftige Maschinengeneratio-nen weiterentwickelt.

Abstract (English)