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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
16060.1 PFEN-ES
Projekttitel
Modellbasierte Zustandsüberwachung und Regelung für den hocheffizien-ten Waferschneidprozess
Projekttitel Englisch
Vibroacoustic machine health monitoring

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Professor Doktor
Roland Anderegg
FHNW
Fachhochschule Nordwestschweiz
Hochschule für Technik
Bahnhofstrasse 6
CH-5210 Windisch
+41 56 202 77 43
roland.anderegg@fhnw.ch

Wirtschaftspartner

 Helge Rafael
Meyer Burger AG
Schorenstrasse 39
CH-3645 Gwatt
+41 33 221 28 77
helge.rafael@meyerburger.com