Modellbasierte Zustandsüberwachung und Regelung für den hocheffizien-ten Waferschneidprozess

• Forschungsstelle: INNOSUISSE
• Projektnummer: 16060.1 PFEN-ES
• Projekttitel Englisch: Vibroacoustic machine health monitoring

Kurzbeschreibung (Deutsch)

Modellbasierte Zustandsüberwachung und Regelung für den hocheffizien-ten Waferschneidprozess

Kurzbeschreibung (Englisch)

Vibroacoustic machine health monitoring

Abstract (Deutsch)

Die Waferschneidtechnik ist ein zentraler Prozess der Herstellung innovativer Solartechnologie. Im Rahmen des Projektes wird eine innovative Prozessüberwachungs- und regelungstechnik entwickelt, welche die nachhaltige und ressourceneffiziente Waferproduktion ermöglicht. Die Schneidtechnologie für Wafer wird modelliert und simuliert, das thermische und dynamische Verhalten validiert und daraus eine modellbasierte Prozessüberwachung abgeleitet. Die Prozessüberwachung dient der Optimierung des Schneidprozesses und erlaubt eine massiv gesteigerte Ausnutzung des zu schneidenden Grundmaterials und eine maximierte Produktivität. Das validierte Simulationsmodell wird zum Auslegungstool für künftige Maschinengeneratio-nen weiterentwickelt.

Abstract (Englisch)