Mechanical Micro Metrology System (MMMS) for the Investigation and Quality Control of Micron Sized Objects

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 12596.2;6 PFNM-NM

Short description (German)

Mikro-Mechanische Messsysteme (MMMS) für die Erforschung und Qualitätskontrolle von Objekten im Mikrobereich

Short description (English)

Mechanical Micro Metrology System (MMMS) for the Investigation and Quality Control of Micron Sized Objects

Abstract (German)

Mikro-Kraftmessung spielt eine wichtige Rolle für das Verständnis von physikalischen und biologischen Prozessen, sowie für die Qualitätskontrolle in der Forschung und Industrie. Für zahlreiche Anwendungen existiert kein geeignetes System für Kraft-Distanzmessung. Dieses Projekt sieht die Entwicklung von Mikro-Mechanischen Mess-Systemen (MMMS) vor, um diese Lücke zu füllen. Das Projekt sieht die Auslegung der Systemplattform, die Herstellung eines neuartigen, voll integrierten MEMS Sensors für Kraft-Distanzmessungen sowie die auf Si-Einheiten rückführbare Kalibrierung vor.