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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
12596.2;6 PFNM-NM
Projekttitel
Mikro-Mechanische Messsysteme (MMMS) für die Erforschung und Qualitätskontrolle von Objekten im Mikrobereich
Projekttitel Englisch
Mechanical Micro Metrology System (MMMS) for the Investigation and Quality Control of Micron Sized Objects
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.08.2011
Endedatum 29.06.2014
 
Gesamtkosten bewilligt 702'338.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014