Software for optimal process design for vapour deposition

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 11256.2;4 PFNM-NM

Short description (German)

Software für optimale Prozessentwicklung für Aufdampfanlagen

Short description (English)

Software for optimal process design for vapour deposition

Abstract (German)

Die Entwicklung von Prozessen, um mit Aufdampfanlagen homogene Schichten mit einer definierten Qualität zu erzeugen, ist langwierig und schwierig und mit hohen experimentellen Kosten verbunden. In diesem Projekt wird eine Simulations- und Optimierungsmethode entwickelt, mit der es erstmals möglich sein wird, das etablierte aber ineffektive empirische Vorgehen bei der Prozessentwicklung durch ein schnelles, systematisches und rechnerbasiertes Verfahren zu ersetzen. Dadurch wird die Entwicklungszeit entscheidend verkürzt, die Prozesse lassen sich optimal im Sinne der Schichtqualität und der Robustheit einstellen und die Entwicklungskosten werden signifikant gesenkt.