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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
11256.2;4 PFNM-NM
Projekttitel
Software für optimale Prozessentwicklung für Aufdampfanlagen
Projekttitel Englisch
Software for optimal process design for vapour deposition
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.05.2010
Endedatum 28.12.2012
 
Gesamtkosten bewilligt 309'100.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014