Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

6816.1;6 IWS-IW

Titre du projet

Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing

Titre du projet anglais

Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing

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