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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6816.1;6 IWS-IW
Projekttitel
Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing
Projekttitel Englisch
Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.04.2004
Endedatum 10.04.2007
 
Gesamtkosten bewilligt 413'000.00  CHF
Bereich 5 KTI
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T210 Masch.bau, Hydraulik, Vakuumtechnik, mech. Schwingungen, tech. Akustik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014