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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6816.1;6 IWS-IW
Projekttitel
Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing
Projekttitel Englisch
Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing

Texte zu diesem Projekt
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Kurzbeschreibung
(Englisch)
Design, characterisation and modelling of a reactive Low Energy Plasma (LEP) Source for SiGe processing