Supplement to: 3-D touch probe with 5 nm resolution and 20 nm repeatability for coordinate measuring machines

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

6651.1;5 TNS-NM

Titre du projet

Supplement to: 3-D touch probe with 5 nm resolution and 20 nm repeatability for coordinate measuring machines

Titre du projet anglais

Supplement to: 3-D touch probe with 5 nm resolution and 20 nm repeatability for coordinate measuring machines

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