Numerical Modelling for large aera plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor development

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

6236.2;6 IWS-IW

Projekttitel

Numerical Modelling for large aera plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor development

Texte zu diesem Projekt

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Numerical Modelling for large aera plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor development