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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6236.2;6 IWS-IW
Projekttitel
Numerical Modelling for large aera plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor development
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.05.2003
Endedatum 07.04.2006
 
Gesamtkosten bewilligt 242'000.00  CHF
Bereich 5 KTI
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T350 Chemische Technik und Chemie-Ingenieurwesen
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014