New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

5243.2;3 FHS-IW

Titre du projet

New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation

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