New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

5243.2;3 FHS-IW

Projekttitel

New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit	Innosuisse Schweizerische Agentur für Innovationsförderung Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Zentrale) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Kontaktperson

Prof. Dr
Sergueï Mikhaïlov
CAFI - HE-Arc
Eplatures-Grises 17
CH-2300 La Chaux-de-fonds
032 930 14 45
serguei.mikhailov@he-arc.ch

Beteiligte