New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

5243.2;3 FHS-IW

Projekttitel

New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation

Texte zu diesem Projekt

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Kurzbeschreibung (Französisch)	New SAW filters for digital applications: modifications of LiTaO3 substrate electronic properties by means of deep and shallow ion implantation