Entwicklung von Prozessen zur Deposition von spannungsarmen Niedertemperatur-Isolationsschichten für microsystemtechnische und mikroelektronische Anwendungen

Schrift Standard Fett
Login

Projektsuche
Aktuelles Projekt
Neuste Projekte
Grafiken
Login

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

4299.2;2 KTS

Projekttitel

Entwicklung von Prozessen zur Deposition von spannungsarmen Niedertemperatur-Isolationsschichten für microsystemtechnische und mikroelektronische Anwendungen

Grunddaten
Texte
Beteiligte

Texte zu diesem Projekt

	Deutsch	Französisch	Italienisch	Englisch
Kurzbeschreibung		-	-	-

Erfasste Texte

Kategorie	Text
Kurzbeschreibung (Deutsch)	Entwicklung von Prozessen zur Deposition von spannungsarmen Niedertemperatur-Isolationsschichten für microsystemtechnische und mikroelektronische Anwendungen