Vielschichtige, hohe Planarstrukturen mit grossem Füllungsgrad und feinem Pitch

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

3710.1;2 MIE

Projekttitel

Vielschichtige, hohe Planarstrukturen mit grossem Füllungsgrad und feinem Pitch

Texte zu diesem Projekt

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Vielschichtige, hohe Planarstrukturen mit grossem Füllungsgrad und feinem Pitch