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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
3710.1;2 MIE
Projekttitel
Vielschichtige, hohe Planarstrukturen mit grossem Füllungsgrad und feinem Pitch
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.10.1997
Endedatum 10.08.2004
 
Gesamtkosten bewilligt 580'000.00  CHF
Bereich 8 Mikroelektronik
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014