Trockenäzverfahren zur Herstellung anisotroper Tiefenstrukturen in Silizium

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

3338.2;3 MIE

Projekttitel

Trockenäzverfahren zur Herstellung anisotroper Tiefenstrukturen in Silizium

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Kurzbeschreibung		-	-	-

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Trockenäzverfahren zur Herstellung anisotroper Tiefenstrukturen in Silizium