Trockenäzverfahren zur Herstellung anisotroper Tiefenstrukturen in Silizium

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

3338.2;3 MIE

Titre du projet

Trockenäzverfahren zur Herstellung anisotroper Tiefenstrukturen in Silizium

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.11.1996
Date de fin	06.08.2004

Coûts totaux approuvés	330'000.00 CHF
Domaine	8 Micro-électronique
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014