Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2846.1;2 MJK

Titre du projet

Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.02.1995
Date de fin	18.03.1997

Coûts totaux approuvés	89'700.00 CHF
Domaine	7 Crédit pluriannuel
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014