Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2846.1;2 MJK

Titre du projet

Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen

Projets afférents

Unité de recherche:	Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet	2634.1;1 MJK
Titre du projet	Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern