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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
2846.1;2 MJK
Projekttitel
Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen

Zugehörige Projekte
Forschungsorganisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Projektnummer 2634.1;1 MJK
Projekttitel Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern