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Research unit
INNOSUISSE
Project number
2846.1;2 MJK
Project title
Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen
Project status Finished
 
Start date 01.02.1995
End date 18.03.1997
 
Granted total costs 89'700.00  CHF
Section 7 Pluriannual Crédit
Project category Project
Research type Applied research and development
NABS classification Industrial production and technology
 
Research disciplines
100 % Not yet defined
Last modification of the project
27.11.2014