M2S2 Laborverbund: Billige, schreibende Verfahren für Strukturen mit grossem Aspekt verhältnis in der Mikrosystemtechnik

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2804.1;1 MIE

Titre du projet

M2S2 Laborverbund: Billige, schreibende Verfahren für Strukturen mit grossem Aspekt verhältnis in der Mikrosystemtechnik

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.07.1993
Date de fin	03.10.1996

Coûts totaux approuvés	314'000.00 CHF
Domaine	8 Micro-électronique
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014