Introduction d'un siliciure sur les grilles en silicium polycristallin de la technologie SACMOS 1.5 µm

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2099.1;2 MJK

Titre du projet

Introduction d'un siliciure sur les grilles en silicium polycristallin de la technologie SACMOS 1.5 µm

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.08.1990
Date de fin	04.11.1996

Coûts totaux approuvés	490'000.00 CHF
Domaine	7 Crédit pluriannuel
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014