Introduction d'un siliciure sur les grilles en silicium polycristallin de la technologie SACMOS 1.5 µm

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2099.1;2 MJK

Titre du projet

Introduction d'un siliciure sur les grilles en silicium polycristallin de la technologie SACMOS 1.5 µm

Participants
Office fédéral/ Unité administrative	Innosuisse Agence suisse pour l'encouragement de l'innovation Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Central) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Personne à contacter

Dr
Jean-Marc MORET
CSEM Centre Suisse d'Electronique
et de Microtechnique
Case postale 41
CH-2007 NEUCHÂTEL
038 205 348

Participants