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Unité de recherche
PCRD EU
Numéro de projet
97.0564
Titre du projet
CVD-MONITORING: Improved CVD process control by in-situ spectroscopic monitoring
Titre du projet anglais
CVD-MONITORING: Improved CVD process control by in-situ spectroscopic monitoring
Etat du projet Réglé
 
Date de début 01.02.1998
Date de fin 30.04.2001
 
Coûts totaux approuvés 826'060.00  CHF
Domaine Programme cadre EU
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Recherches non ventilées / non attribuables
 
Disciplines/domaines
100 % Non attribuable à une discipline spécifique
Dernière modification du projet
10.05.2011