CVD-MONITORING: Improved CVD process control by in-situ spectroscopic monitoring

Forschungsstelle

EU FRP

Projektnummer

97.0564

Projekttitel

CVD-MONITORING: Improved CVD process control by in-situ spectroscopic monitoring

Projekttitel Englisch

CVD-MONITORING: Improved CVD process control by in-situ spectroscopic monitoring

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit

Kontaktperson

Dr.
Ulrich Vogt
Eidg. Materialprüfungs- und
Forschungsanstalt EMPA
Hochleistungskeramik
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
01 823 41 60

Beteiligte