MOSIS: Development and applications of novel optoelectromechanical systems micro-machined in silicon

Unité de recherche

PCRD EU

Numéro de projet

97.0325

Titre du projet

MOSIS: Development and applications of novel optoelectromechanical systems micro-machined in silicon

Titre du projet anglais

MOSIS: Development and applications of novel optoelectromechanical systems micro-machined in silicon

Etat du projet	Réglé

Date de début	01.01.1998
Date de fin	30.04.2001

Coûts totaux approuvés	329'301.80 CHF
Domaine	Programme cadre EU

Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Recherches non ventilées / non attribuables

Disciplines/domaines	100 % Non attribuable à une discipline spécifique

Dernière modification du projet 10.05.2011