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Forschungsstelle
EU FRP
Projektnummer
97.0325
Projekttitel
MOSIS: Development and applications of novel optoelectromechanical systems micro-machined in silicon
Projekttitel Englisch
MOSIS: Development and applications of novel optoelectromechanical systems micro-machined in silicon

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit
Kontaktperson

 Prof. Dr.
René Dändliker
Université de Neuchâtel
Institut de Microtechnique
Rue A.-L. Breguet 2
CH-2000 Neuchâtel
032 718 32 65
rene.dandliker@imt.unine.ch