Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

47997.1 IP-ENG

Titre du projet

Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing

Titre du projet anglais

Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing

Etat du projet	En cours / engagé

Date de début	01.11.2021
Date de fin	01.11.2023

Coûts totaux approuvés	598'996.08 CHF
Domaine	70 Engineering
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T150 Technologie de matériaux

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