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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
47997.1 IP-ENG
Projekttitel
Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing
Projekttitel Englisch
Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.11.2021
Endedatum 01.11.2023
 
Gesamtkosten bewilligt 598'996.08  CHF
Bereich 70 Engineering
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T150 Werkstofftechnologie
Letzte Änderung Projekt