High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

51003.1 IP-ENG

Titre du projet

High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

Titre du projet anglais

High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.04.2021
Date de fin	01.10.2022

Coûts totaux approuvés	570'127.00 CHF
Domaine	70 Engineering
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet