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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
51003.1 IP-ENG
Projekttitel
High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market
Projekttitel Englisch
High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Professor Doktor
Christofer Hierold
ETH Zürich
CLA H9 / Tannenstrasse 3
CH-8092 Zürich
+41 44 632 31 43
hierold@micro.mavt.ethz.ch

Wirtschaftspartner

 Doktor
Stéphane Kühne
VAT Vakuumventile AG
CHE-101.861.353
Seelistrasse 1
CH-9469 Haag