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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
51003.1 IP-ENG
Projekttitel
High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market
Projekttitel Englisch
High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.04.2021
Endedatum 01.10.2022
 
Gesamtkosten bewilligt 570'127.00  CHF
Bereich 70 Engineering
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt