Technological protocol development for production of 3D structures in light sensitive polymers with Sub-Wavelength Holographic Lithography

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

44552.1 IP-ENG

Titre du projet

Technological protocol development for production of 3D structures in light sensitive polymers with Sub-Wavelength Holographic Lithography

Titre du projet anglais

Technological protocol development for production of 3D structures in light sensitive polymers with Sub-Wavelength Holographic Lithography

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.09.2020
Date de fin	01.09.2022

Coûts totaux approuvés	579'306.41 CHF
Domaine	70 Engineering
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % P265 Physique des semiconducteurs

Dernière modification du projet