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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
26853.1 PFNM-NM
Titre du projet
Quadruple functionality coatings against harsh environments in plasma etch tools
Titre du projet anglais
Quadruple functionality coatings against harsh environments in plasma etch tools
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.02.2018
Date de fin 01.06.2021
 
Coûts totaux approuvés 686'908.80  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T155 Revêtements et traitement des surfaces
Dernière modification du projet