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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
25594.1 PFNM-NM
Projekttitel
High-precision resonant vacuum sensors for PVD coating systems
Projekttitel Englisch
High-precision resonant vacuum sensors for PVD coating systems
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.03.2017
Endedatum 01.01.2019
 
Gesamtkosten bewilligt 722'619.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik

Letzte Änderung Projekt