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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
25142.1 PFNM-NM
Titre du projet
NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone
Titre du projet anglais
NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.01.2017
Date de fin 01.01.2021
 
Coûts totaux approuvés 300'000.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet