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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
25142.1 PFNM-NM
Projekttitel
NanoFrazor Scholar - hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie-Einsteiger
Projekttitel Englisch
NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Deutsch)
NanoFrazor Scholar - hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie-Einsteiger
Kurzbeschreibung
(Englisch)
NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone
Abstract
(Deutsch)
Die NanoFrazor Instrumente ermöglichen den Zugang zur 3D Nanostrukturierung mit unerreichter Präzision. Eine Neuentwicklung, beruhend auf modellbasierter Regelungstechnik und hochsensitiver Abstandssensorik eröffnet für SwissLitho einen neuen Markt und Zugang zu einzelnen Forschungsgruppen. Erstmals können kostengünstige «off-the-shelf» Komponenten für die Positionierer des NanoFrazors verwendet werden. Zudem werden auch Geschwindigkeit und Genauigkeit der bisherigen Systeme deutlich verbessert.