Advanced deposition system for low damage thin films.

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

18940.2 PFNM-NM

Titre du projet

Advanced deposition system for low damage thin films.

Titre du projet anglais

Advanced deposition system for low damage thin films.

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.02.2017
Date de fin	01.08.2019

Coûts totaux approuvés	387'809.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T155 Revêtements et traitement des surfaces

Dernière modification du projet